[发明专利]一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法有效
| 申请号： | 201010520212.4 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102033255A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 张瑞英;董建荣;杨辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;C23C14/18;C25D11/04;C25D11/26 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明深入微纳光子技术领域的研究，揭示了一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法，其步骤为先在需要宽谱广角增透的基底材料表面蒸镀一定厚度铝或钛的金属膜；而后放入阳极氧化槽装置中进行完全阳极氧化，形成从基底表面金属氧化物垒层到空气折射率渐变的氧化铝或氧化钛的多孔结构；然后对半成品进行清洗、去垒层、脱水晶化处理后制得与基底结合为一体的宽谱广角增透亚波长结构。本发明制备方法的应用，能有效提高器件宽谱广角透明的光学功能特性；而且本发明制备方法可复制性强，易于大面积低成本的制备推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 广角 增透亚 波长 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种宽谱广角增透亚波长结构的制备方法，其特征在于包括步骤：I、将需要宽谱广角增透的器件作为基底，并于其表面蒸镀一定厚度铝或钛的金属膜；II、将沉积有金属膜的基底放入阳极氧化槽装置中进行完全阳极氧化，形成从基底表面金属氧化物垒层到空气折射率渐变的氧化铝或氧化钛的多孔结构；III、将覆盖有氧化铝或氧化钛的多孔结构的基底从阳极氧化槽装置中取出，清洗并去垒层，制得宽谱广角减反的亚波长结构；IV、对具有亚波长结构的基底材料进行脱水晶化处理，使亚波长结构透明化，且与基底结合为一体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010520212.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种免调偏心光缆制造模具
- 下一篇：一种深层倾斜裂缝储层地震振幅预测方法
