[发明专利]太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池的制造方法。上述方法是利用在一基板上依序溅镀靶材或共同溅镀靶材，然后对基板退火来制造来太阳能电池中的含硫化硫属化合物吸收物，上述靶材的其中之一包含一硫化合物。在一不含硫环境下进行上述退火且避免使用危险的硫化氢气体。形成的上述硫化硫属化合物具有一硫浓度梯度。相较于使用两道退火步骤的其他工艺，本发明的工艺简易且仅使用一道退火步骤。此外，本发明公开的工艺可避免使用难以量产的含硒或含硫气体环境。特别地，可避免使用在低浓度下具有高毒性的硒化氢和硫化氢。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，包括下列步骤：提供一基板；利用溅镀一第一靶材，在该基板上形成一第一薄膜；在该基板上形成一第二薄膜，形成该第二薄膜包括在该第一薄膜上方溅镀一第二靶材，其中该第二靶材包括硫或一硫化物；以及利用施加能量至该基板，从该第一和第二薄膜形成硫属化合物太阳能吸收物，其中该硫属化合物太阳能吸收物包括第I族的至少一个元素和第VI族的至少二个元素。