[发明专利]密封等离子处理室的氧化钇等离子喷镀涂覆部件的方法有效
| 申请号： | 201010521844.2 | 申请日： | 2008-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN102005352A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 石洪;杜安·奥特卡;刘身健;约翰·多尔蒂 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J9/24 | 分类号： | H01J9/24 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供密封等离子处理室的氧化钇等离子喷镀涂覆部件的方法。一种方法包括a)施加室温粘度小于50cP的液体厌氧密封剂到该部件的全部氧化钇层表面；b)湿法清洁该部件；c)在N2环境中至少150℃下固化该湿法清洁的部件超过2小时；以及，d)以及通过重复a)到c)的步骤将第二液体厌氧密封剂施加于该固化的基片。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 等离子 处理 氧化钇 喷镀涂覆 部件 方法 | ||
【主权项】：
一种密封等离子处理室的氧化钇等离子喷镀涂覆部件的方法，该方法包括；a)施加室温粘度小于50cP的液体厌氧密封剂到该部件的全部氧化钇层表面；b)湿法清洁该部件；c)在N2环境中至少150℃下固化该湿法清洁的部件超过2小时；以及，d)以及通过重复a)到c)的步骤将第二液体厌氧密封剂施加于该固化的基片。
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