[发明专利]一种对位平台有效
| 申请号： | 201010522747.5 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102029771A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 唐志稳;景建平;刘宏宇 | 申请（专利权）人： | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/18 | 分类号： | B32B38/18;B32B41/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215121 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种对位平台，包括一台面，该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字导轨副由上导轨、下导轨以及中间滑块组成；支承轴承的上端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接，而十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上；设矩形的一对边沿X向，另一对边沿Y向；位于矩形的一条Y向边两端的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构；而另有一个十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的，且这个十字轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。本发明对位平台利于控制，保证了机械精度，结构紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 平台 | ||
【主权项】：
一种对位平台，其特征在于：包括一台面，该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构；每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成，所述十字导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成；所述支承轴承的上端与台面固定连接，其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接，而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上；设所述矩形的纵向边的方向为X向，而横向边的方向为Y向；四个支承机构中，位于所述矩形的一条Y向边两端的两支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的，且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构；而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的，且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。
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