[发明专利]多晶硅10bargHC1尾气的减压制酸工艺有效
| 申请号： | 201010522980.3 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102009952A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 唐明元;刘松林;王绍祖;姜静;张辉;路祥 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B7/01 | 分类号： | C01B7/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712038 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅10bargHCl尾气的减压制酸工艺，它是将多晶硅生产分离提纯10barg液态氯化氢经气化、减压和水吸收，使其变成盐酸并加以回收利用的具体工艺技术。其生产工艺：将多晶硅生产尾气回收单元分离提纯的其压力为10barg、纯度为99％液态氯化氢，通过一个加热气化器，加热到10～20℃，液态HCl从液态变为气态，然后通过减压装置，将压力为10barg的气态HCl减压至0.1～0.5barg，再将HCl导入喷淋吸收装置进行水吸收，循环逆流多级浓缩吸收，生产制备成浓度为26～31％的盐酸。本发明将多晶硅生产过程中，由于TCS合成出现故障，尾气回收分离提纯的10bargHCl排至废气、废液处理系统的HCl增浓吸收装置制备盐酸，为事故时的10bargHCl找到了一个合理的处理途径，从而保证还原、转化和尾气回收单元的正常生产，增强了多晶硅生产线的抗事故能力。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 10 barghc1 尾气 减压 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅10bargHCl尾气的减压制酸工艺，其特征在于：其生产工艺为：将多晶硅生产尾气回收单元分离提纯的压力为10barg、纯度为99％液态氯化氢，通过一个加热气化器，加热到10～20℃，液态HCl从液态变为气态，然后通过减压装置，将压力为10barg的气态HCl减压至0.1～0.5barg，再将HCl导入喷淋吸收装置进行水吸收，循环逆流多级浓缩吸收，生产制备成浓度为26～31％的盐酸。
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