[发明专利]面接触式石英舟无效

专利信息
申请号: 201010523710.4 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN102064233A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 李钟华 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种面接触式石英舟,包括石英分隔挡杆、U形侧面连接件、把手、支撑杆和防污挡板,石英分隔挡杆和U形侧面连接件围合成硅片承载框架,在硅片承架的下方设有二根以上底面为平面的支撑杆,在石英分隔挡杆上开设有斜置的硅片卡槽,且其上口设有扩展角;在靠近把手端设有防污挡板。由于将石英舟的支撑脚由点接触改为面接触,支撑杆与碳化桨间为面接触,使得支撑杆的受力更合理,石英舟在使用中不易损坏,延长了使用寿命。防污挡板的设置能减少扩散色差片,提高电池片的成品率。在硅片卡槽的上口设有扩展角,有利于硅片的插入;斜置的硅片卡槽能增加硅片卡槽对硅片的限位面积,更好限定硅片在石英舟中自由度。
搜索关键词: 接触 石英
【主权项】:
一种面接触式石英舟,其特征是:包括两根水平设置的上石英分隔挡杆(1)、两根水平设置的下石英分隔挡杆(2)、左U形侧面连接件(3)、右U形侧面连接件(4)、把手(5)、支撑杆(6)和防污挡板(7),两根上石英分隔挡杆(1)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上,两根下石英分隔挡杆(2)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)的下端,在两根下石英分隔挡杆(2)的下方固定有二根以上的支撑杆(6),支撑杆(6)的底部为平面,且两根上石英分隔挡杆(1)之间的距离与硅片的宽度尺寸相当;在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上都设有把手(5),在上石英分隔挡杆(1)和下石英分隔挡杆(2)上均开设有硅片卡槽(9),硅片(8)间隔地插在硅片卡槽(9)中,在靠近把手端各插有一块防污挡板(7)。
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