[发明专利]固体摄像器件、其制造方法和设计方法以及电子装置

摘要

提供固体摄像器件、其制造方法和设计方法以及电子装置，所述固体摄像器件包括：半导体基板，它包括为呈矩阵状布置的各个像素分别设置的光电二极管；第一绝缘膜，它形成在半导体基板上，覆盖形成在半导体基板上并与半导体基板接触的多层布线，第一绝缘膜是使用这样的材料形成的：所述材料具有至少在第一绝缘膜的底面部分和顶面部分处小于半导体基板的折射率的第一折射率；第二绝缘膜，它形成在第一绝缘膜上，并具有大于第一折射率的第二折射率；第三绝缘膜，它形成在第二绝缘膜上，并具有大于第二折射率的第三折射率；以及滤色器，它以与各个像素对应的方式形成在第三绝缘膜上并透射红色、绿色或蓝色波长区域的光。因此，能够抑制颜色不均匀。

主权项

一种固体摄像器件，所述固体摄像器件包括：半导体基板，它包括为各个像素分别设置的光电二极管，所述各个像素在光接收面上呈矩阵状布置；第一绝缘膜，它形成在所述半导体基板上，覆盖着形成在所述半导体基板上并与所述半导体基板接触的多层布线，并且所述第一绝缘膜是使用这样的材料形成的：所述材料具有至少在所述第一绝缘膜的底面部分和顶面部分处小于所述半导体基板的折射率的第一折射率；第二绝缘膜，它形成在所述第一绝缘膜上，并具有大于第一折射率的第二折射率；第三绝缘膜，它形成在所述第二绝缘膜上，并具有大于第二折射率的第三折射率；以及滤色器，它以与所述各个像素对应的方式形成在所述第三绝缘膜上，并透射红色、绿色或蓝色波长区域的光，其中，用于具有红色、绿色或蓝色滤色器的像素的所述第二绝缘膜的厚度和/或第二折射率与用于其他像素的所述第二绝缘膜的厚度和/或第二折射率不同，以便减小所述半导体基板的表面处的反射光与所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间的界面处的反射光以及所述第二绝缘膜和所述第三绝缘膜之间的界面处的反射光之间的光学干涉强度的变化。