[发明专利]加速度传感器

摘要

一种加速度传感器，能实现高精度且高灵敏度的加速度测定。具备：由压电振动片(12)构成的感应元件，其具有振动梁(13)及形成于其表面的激励电极；支撑感应元件两端的支撑部(17、18)；位于振动梁的一方的基端部(14)与相邻的支撑部之间且具有薄壁部(19)的连接部(16)；施重部(20)，其配置在感应元件的宽度方向两侧，且从该一方的基端部起沿着感应元件的长度方向延伸到另一方的基端部侧。当在施重部的主面法线方向上作用了加速度时，感应元件的频率随加速度的方向和大小而变化。当追加了由沿着施重部的宽度方向两侧延伸的振动梁构成的第2和第3感应元件(42、43)时，能够进一步测定施重部的面内方向的加速度。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，该加速度传感器具备：第1感应元件，其具有：第1振动梁；所述第1振动梁的长度方向两端的基端部；以及形成在所述第1振动梁的表面上的激励电极，该激励电极用于以弯曲振动模式对该第1振动梁进行激励；支撑部，其与各个所述基端部分别结合，以支撑所述第1感应元件；连接部，其从一方的所述基端部起，在与所述第1振动梁相同的轴上，朝着与所述第1振动梁相反的方向延伸而设置在所述基端部与所述支撑部之间，并且，该连接部具有沿着所述第1振动梁的长度方向形成的薄壁部；以及施重部，其与所述一方的基端部结合而配置在所述第1感应元件的宽度方向两侧，并沿着所述第1感应元件的长度方向朝着另一方的所述基端部侧延伸。