[发明专利]传输腔室的压强控制方法、装置及等离子体设备有效
| 申请号： | 201010530089.4 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102455713A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李虎 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传输腔室的压强控制方法、装置及等离子体设备，所述方法包括：采集传输腔室的当前压强，并获取所述当前压强所在预置数据采集周期内的压强变化率；判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内，若否，则根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；并根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。通过本发明，能够实时、动态的调整传输腔室内的气压，并且节约设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 压强 控制 方法 装置 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
一种传输腔室的压强控制方法，其特征在于，包括：采集传输腔室的当前压强，并获取所述当前压强所在预置数据采集周期内的压强变化率；判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内，若否，则根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；并根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。
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