[发明专利]吸附垫片及其制造方法有效
| 申请号： | 201010530362.3 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102452041A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;王良光;王俊达;宋欣如 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种吸附垫片及其制造方法。该制造方法包括以下步骤：(a)提供一垫片本体，其具有一上表面、一下表面、至少一侧面及多个孔洞，其中部分该多个孔洞开口于该侧面；及(b)密封或缩小开口于该侧面的孔洞。由于开口于该侧面的孔洞被密封或缩小，因此，在抛光过程中，研磨浆液不易进入该垫片本体内部。由此，渗入距离较慢达到预设值，而可增加该吸附垫片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 垫片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附垫片，包括：垫片本体，具有上表面、下表面、至少一侧面及多个孔洞，其中部分该多个孔洞开口于该侧面，该上表面用以吸附一基材；及密封材料，位于该侧面上，以覆盖且密封开口于该侧面的孔洞。
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