[发明专利]TEM样品的制备方法有效
| 申请号： | 201010531258.6 | 申请日： | 2010-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN102466579A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 段淑卿;杨卫明;芮志贤;陆冠兰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种TEM样品的制备方法，包括步骤：提供检测样片，所述检测样片上具有至少两个待检测区域，即第一待检测区域和第二待检测区域；在检测样片的第一待检测区域形成标记；从所述第一待检测区域切割出第一样片，所述第一样片包括所述标记，从所述第二待检测区域切割出第二样片，所述第二样片的形状和第一样片的形状相同；将所述第一样片和第二样片的具有待检测区域的一面贴合粘接，形成双样片；沿所述双样片的被切割的两个相对侧面减薄所述双样片，直到暴露所述标记，从而使得可以对检测样片的任何区域进行TEM分析。 | ||
| 搜索关键词： | tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TEM样品的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供检测样片，所述检测样片上具有至少两个待检测区域，即第一待检测区域和第二待检测区域；在检测样片的第一待检测区域形成标记；从所述第一待检测区域切割出第一样片，所述第一样片包括所述标记，从所述第二待检测区域切割出第二样片，所述第二样片的形状和第一样片的形状相同；将所述第一样片和第二样片的具有待检测区域的一面贴合粘接，形成双样片；沿所述双样片的被切割的两个相对侧面减薄所述双样片，直到暴露所述标记。
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