[发明专利]磁石单元及包括其的喷镀装置无效
| 申请号： | 201010532693.0 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102086510A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴芝瑛;李仁河;朴完雨;黄在君 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁石单元及包括其的喷镀装置，该磁石单元包括至少一个中央磁石和围绕该中央磁石周边的至少一个周边磁石，该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在该中央磁石的长度方向或者在垂直于该长度方向的方向上往返移动。 | ||
| 搜索关键词： | 磁石 单元 包括 装置 | ||
【主权项】：
一种磁石单元，其特征在于，包括：至少一个中央磁石；及，至少一个周边磁石，其围绕该中央磁石的周边而设置，在该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在该中央磁石的长度方向或者在垂直于该长度方向的方向上往返移动。
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