[发明专利]一种光电信号传输方法、光电传感器及微电子加工设备无效
| 申请号： | 201010533930.5 | 申请日： | 2010-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102468886A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 陈庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H04B10/12 | 分类号： | H04B10/12;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光电信号传输方法，其首先使待发射的有效信号以电信号的形式与特定的载波信号相混合，然后经由光电传感器的发射端将混合后的电信号转化为相应的光信号并向外发射；光电传感器的接收端将接收到的光信号转化为相应的电信号，然后对所述转化后的电信号进行筛选处理，以获得所需的有效信号。本方法可有效抵抗光电信号在传输中的环境噪声对检测精度的影响，从而具有较高的光电信号检测精度。此外，本发明还提供一种光电传感器及一种微电子加工设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 信号 传输 方法 传感器 微电子 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种光电信号传输方法，用于在光电传感器的发射端与接收端之间实现光电信号的有效传输，其特征在于，包括下述步骤：10)使待发射的有效信号以电信号的形式与特定的载波信号相混合，然后经由所述发射端将混合后的电信号转化为相应的光信号并向外发射；20)所述接收端将接收到的光信号转化为相应的电信号，然后对所述转化后的电信号进行筛选处理，以获得所需的有效信号。
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