[发明专利]坩埚空烧装置

摘要

本发明提供一种坩埚空烧装置(100)，即使使用尺寸精度差的便宜的坩埚也可以可靠地进行动作，而且结构简单，可以促进降低成本。所述坩埚空烧装置(100)使支承轨道部(31)与坩埚(U)的水平移动通道(2)串联配置，所述支承轨道部(31)，以使相邻坩埚的底部和开口部相接的方式，把沿水平横卧的多个坩埚(U)并排支承成一列，所述坩埚(U)的水平移动通道(2)设置在加热坩埚(U)的加热炉(10)内，通过把位于支承轨道部(31)上的坩埚(U)沿所述列方向水平推入，顺序把坩埚(U)送入到加热炉(10)内。

主权项

一种坩埚空烧装置，其特征在于，包括坩埚空烧用的加热炉，该加热炉在内部具有水平移动通道，该水平移动通道的一端与坩埚的插入口连接，另一端与坩埚的导出口连接，从所述插入口插入的坩埚通过被下一个插入的在后的坩埚推着，向所述导出口移动，所述坩埚空烧装置还包括：支承轨道部，以使相邻的坩埚的底部和开口部接触的方式，把沿水平横卧的多个坩埚并排支承成一列；以及滑动执行机构，使由所述支承轨道部支承的最后面的坩埚向前方移动，从而使所述一列的全部坩埚沿该列方向移动，顺序从设置在所述支承轨道部前端的送出口送出坩埚，所述支承轨道部的所述送出口与所述水平移动通道的插入口相接，所述支承轨道部与所述水平移动通道构成串联配置。