[发明专利]微机电滤波器

摘要

本发明公开了一种微机电滤波器。此微机电滤波器包括一输入电极、一输出电极、一个或多个压电谐振器、一个或多个高品质因子谐振器以及一个或多个耦合梁。压电谐振器上方具有输入电极与输出电极。高品质因子谐振器的材质为硅或压电材料，且上方不具有金属电极。在压电谐振器与高品质因子谐振器之间以耦合梁作为连接。耦合梁用于谐振器间传递声波，并可控制滤波器的频宽。

主权项

一种微机电滤波器，其特征在于包括：一第一基板；一第二基板；一输入电极，所述输入电极配置在所述第一基板上方；一输出电极，所述输出电极配置在所述第二基板上方；一第一悬挂式谐振器，所述第一悬挂式谐振器连接所述第一基板及所述第二基板；一第二悬挂式谐振器，所述第二悬挂式谐振器连接所述第一基板及所述第二基板；一压电谐振器，所述压电谐振器紧密地连结在所述第一悬挂式谐振器上方，所述压电谐振器的上电极具有一叉指形式图案，所述叉指形式图案两侧分别与所述输入电极、所述输出电极连接，而配置在所述压电谐振器的上电极下方依次为一第一压电材料层与一第一下电极；以及一耦合梁，在所述第一悬挂式谐振器与所述第二悬挂式谐振器之间以所述耦合梁做耦合连接，所述耦合梁用于传递声波，并控制所述微机电滤波器的频宽。