[发明专利]基板运输处理系统及方法

摘要

本发明公开了一种基板运输处理系统，包含基板容置卡匣、对应于基板容置卡匣设置的第一机械手臂、基板清洁机台、设置于基板清洁机台与第一机械手臂之间的暂存机台、对应于第一机械手臂设置的可旋转暂存机台、基板加工机台，以及设置于可旋转暂存机台与基板加工机台之间的第二机械手臂。暂存机台包含双层进片装置与双层出片装置。可旋转暂存机台包含第一双层取放片装置及第二双层取放片装置。一种应用此基板运输处理系统的方法亦在此揭露。

主权项

一种基板运输处理系统，其特征在于，包含：一基板容置卡匣；一第一机械手臂，对应于该基板容置卡匣设置，该第一机械手臂包含一第一上手臂与一第一下手臂；一基板清洁机台；一暂存机台，设置于该基板清洁机台与该第一机械手臂之间，该暂存机台包含一双层进片装置与一双层出片装置；一可旋转暂存机台，对应于该第一机械手臂设置，该可旋转暂存机台包含一第一双层取放片装置及一第二双层取放片装置；一基板加工机台；以及一第二机械手臂，设置于该可旋转暂存机台与该基板加工机台之间，该第二机械手臂包含一第二上手臂与一第二下手臂。