[发明专利]用于传输模式测量的偏轴板操纵装置及其技术有效
| 申请号： | 201010536283.3 | 申请日： | 2010-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102147374A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | R·S·普里斯特雷;E·A·索哈林 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01L1/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于传输模式测量的偏轴板操纵装置及其技术，提供了一种测量装置(2)和测量方法，该测量装置用于测量透明板(10)中的处理引起特征。该测量装置包括光源(10)、成像装置(80)以及支承结构(30)，该支承结构设置在光源和成像装置之间。该支承结构构造成且设置成支承透明板，从而当通过成像装置进行观察时，由支承结构引起的测量误差沿第一轴线或平行于第一轴线(46、54)延伸，当通过成像装置进行观察时，透明板中的处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，第一轴线倾斜于第二轴线(22、24)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传输 模式 测量 偏轴板 操纵 装置 及其 技术 | ||
【主权项】：
一种用于测量透明板中的处理引起特征的装置，包括：光源；成像装置；以及透明板支承结构，所述透明板支承结构设置在所述光源和所述成像装置之间，其中，所述支承结构构造成且设置成支承所述透明板，以使由所述支承结构引起的测量误差在沿第一轴线或平行于第一轴线延伸时被所述成像装置观察到，当通过所述成像装置进行观察时，所述透明板中的所述处理引起特征沿第二轴线或平行于第二轴线延伸，所述第一轴线倾斜于所述第二轴线。
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