[发明专利]基板搬运装置

摘要

本发明公开了一种基板搬运装置，其包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上。借此能够选择同步或单一平移动作模式，同时能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响的实用进步性。本发明适用于各种需要使用基板搬运装置的场合。

主权项

一种基板搬运装置，所述基板搬运装置借以导送基板位移以达到搬运的目的；其特征在于，该基板搬运装置包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部，其中该滑动组配部组合于该轨道上，使该可旋转升降座能够沿着该轨道的延伸型态位移；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体，各该气浮箱体之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该平移式夹持导动架的进退方向与气浮式载台一致，同时该平移式夹持导动架包括有复数个间隔设置的基板夹爪，所述基板夹爪呈可开合状态，且使各该基板夹爪随着平移式夹持导动架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该可升降平移式撑持架的进退方向与气浮式载台一致，同时该可升降平移式撑持架包括有复数个间隔设置且呈凸伸型态的基板撑持架部，使各该基板撑持架部随着可升降平移式撑持架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中，且其中，所述基板撑持架部的位置，与该平移式夹持导动架所设基板夹爪的位置相互错开，同时所述基板撑持架部于上升时，使其高于该气浮箱体顶面。