[发明专利]去除氯硅烷体系中硼杂质的隔板吸附装置及方法有效

专利信息
申请号: 201010542402.6 申请日: 2010-11-13
公开(公告)号: CN102058992A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 黄国强;石秋玲;王红星;华超;王国峰;姚帅鹏 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: B01D3/32 分类号: B01D3/32;B01D53/04;C01B33/107
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 王丽
地址: 300072 天*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种去除氯硅烷体系中杂质硼化合物的隔板吸附装置,由一个与塔式吸附段高度相同、置于塔中部的隔板,将该装置分为四个区域:公共精馏段(1),塔式吸附段(2),侧线采出段(3),公共提馏段(4);在塔式吸附段(2)内填装吸附剂。含有杂质硼化合物的氯硅烷物料(5)在塔式吸附段中部进料,塔顶得到轻组分(6),侧线采出段得到提纯后的产品三氯氢硅(7),塔底得到重组分(8),塔的操作压力为300KPa~500KPa。该工艺对硼杂质的去除率为80%,且能降低能耗60%~80%。较以往的除硼工艺流程大为简化,大大降低了能耗和设备费用。在有效除硼的基础之上,实现了关键组分的分离,分离后的各组分分别进入多晶硅生产的相应单元,降低了生产成本。
搜索关键词: 去除 硅烷 体系 杂质 隔板 吸附 装置 方法
【主权项】:
一种去除氯硅烷体系中杂质硼化合物的隔板吸附装置,其特征在于:由一个与塔式吸附段高度相同、置于塔中部的隔板,将该装置分为四个区域:公共精馏段(1),塔式吸附段(2),侧线采出段(3),公共提馏段(4);在塔式吸附段(2)内填装吸附剂。
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