[发明专利]去除氯硅烷体系中硼杂质的隔板吸附装置及方法有效
申请号: | 201010542402.6 | 申请日: | 2010-11-13 |
公开(公告)号: | CN102058992A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 黄国强;石秋玲;王红星;华超;王国峰;姚帅鹏 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | B01D3/32 | 分类号: | B01D3/32;B01D53/04;C01B33/107 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种去除氯硅烷体系中杂质硼化合物的隔板吸附装置,由一个与塔式吸附段高度相同、置于塔中部的隔板,将该装置分为四个区域:公共精馏段(1),塔式吸附段(2),侧线采出段(3),公共提馏段(4);在塔式吸附段(2)内填装吸附剂。含有杂质硼化合物的氯硅烷物料(5)在塔式吸附段中部进料,塔顶得到轻组分(6),侧线采出段得到提纯后的产品三氯氢硅(7),塔底得到重组分(8),塔的操作压力为300KPa~500KPa。该工艺对硼杂质的去除率为80%,且能降低能耗60%~80%。较以往的除硼工艺流程大为简化,大大降低了能耗和设备费用。在有效除硼的基础之上,实现了关键组分的分离,分离后的各组分分别进入多晶硅生产的相应单元,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 去除 硅烷 体系 杂质 隔板 吸附 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种去除氯硅烷体系中杂质硼化合物的隔板吸附装置,其特征在于:由一个与塔式吸附段高度相同、置于塔中部的隔板,将该装置分为四个区域:公共精馏段(1),塔式吸附段(2),侧线采出段(3),公共提馏段(4);在塔式吸附段(2)内填装吸附剂。
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