[发明专利]压电元件、压电致动器、液体喷射头及液体喷射装置

摘要

本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电致动器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包含第1电极10、与第1电极10相对而配置的第2电极20以及配置于第1电极10与第2电极20之间且由至少包含铅、锆、钛及氧的复合氧化物形成的压电体层30，压电体层30包含配置于压电体层30的第1电极10侧的一端的第1晶体层32和与第1晶体层32连续且与第1晶体层32相比靠第2电极20侧配置的第2晶体层34，压电体层30的铅的浓度，在第1晶体层32的第1电极10侧这一方比第2晶体层34的第2电极20侧低，压电体层30的氧的浓度，在第1晶体层32的第1电极10侧这一方比第2晶体层34的第2电极20侧高。

主权项

一种压电元件，包括：第1电极；与上述第1电极相对而配置的第2电极；以及配置于上述第1电极与上述第2电极之间的压电体层，其中，上述第1电极具有：第1导电层；与上述第1导电层接触而设置的第1中间层；与上述第1中间层接触而设置的第2中间层；以及与上述第2中间层及上述压电体层接触而设置的第2导电层；上述第1导电层包含从下述组选择的一种金属或含有从该组选择的至少一种金属的合金，该组包括Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag及Au；上述第1中间层包含氮化合物；上述第2中间层包含从下述组选择的一种金属或从该组选择的至少两种金属的合金，该组包括Ti、Zr、W、Ta及Al；上述第2导电层包含导电性氧化物。