[发明专利]带有出口气体收集器的多晶硅还原炉

摘要

本发明公开的带有出口气体收集器的多晶硅还原炉，包括炉体、夹套、底盘、支座、观察视镜、多对电极、硅芯、混合气进气管及进气喷嘴、出口气体收集器、出气管及冷却系统等。其特征在于炉内顶端设置有出口气体收集器，底盘中心设置有出气管，出气管与出口气体收集器连通。出口气体收集器上设置有两根垂直连通的主接管，主接管I一端与设置在底盘中心的出气管连通，另一端与主接管II的中心位置垂直连通；主接管II上垂直连通有若干根侧接管通，侧接管和主接管II向下的一面均匀设置有若干小孔。出口气体收集器的设置保证了炉内气体不易发生短路且分布均匀，气体与高温硅棒充分接触发生反应，最终保证了生成的多晶硅棒上下粗细均匀，提高产品质量。

主权项

一种多晶硅还原炉，包括炉体，夹套，底盘，支座，多对电极，带有石墨头的硅芯，混合气进气管及进气喷嘴，出气管及冷却系统；其特征是炉内顶端设置有出口气体收集器，底盘中心设置有出气管，出气管与出口气体收集器连通。