[发明专利]用于基板定位和检测的偏移校正方法和装置

摘要

本发明提供一种用于基板定位和检测的偏移校正方法和装置。本发明提供一种用于捕获基板图像的斜角检测模块。该模块包括与基板夹头连接的旋转马达，该旋转马达被配置为旋转该基板夹头从而使该基板旋转。该模块还包括照相机和与照相机连接的光学罩，该光学罩被配置为可以旋转的，使闪光可以朝向该基板。该照相机装载在照相机支架上，该照相机支架被配置为使该照相机可水平旋转180度，使得该照相机可以捕获图像，该图像至少包括该基板的俯视图，仰视图和侧视图之一。该模块还包括背光装置，该背光装置被配置为提供光照给该基板，从而使该照相机能捕获该图像，该图像显示基板和背景间的对比。

主权项

一种计算处理室内的夹头的处理中心的方法，该方法包括：利用斜角检测模块捕获处理过的基板边沿的图像；测量从该处理过的基板的边沿的一组距离以得到干涉条纹，该组距离是在一组角度上测量的；生成离心曲线，该离心曲线为该组距离相对于该组角度的图形形式；及对该离心曲线应用曲线拟合方程以计算该处理中心。