[发明专利]三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法无效
申请号: | 201010548721.8 | 申请日: | 2010-11-16 |
公开(公告)号: | CN102468376A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 李有群;杨彦霞;岳建水 | 申请(专利权)人: | 上海大晨光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/22 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 201206 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法,该工艺的技术特征在于制作铝电极之前,先对芯片正面(发光面)进行粗化处理,使得光线从内部经由发光面能均匀折射出来;并在完成铝电极制作完成后,对该电极进行保护,再对发光二极管(LED)芯片侧面进行粗化处理,使得光线从内部经由侧面能均匀折射出来。从而在保持外延层结构不变的前提下明显提高了发光二极管(LED)芯片的出光效率。 | ||
搜索关键词: | 三元 gaasp 电极 发光二极管 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法,其特征在于:该方法依次包括以下步骤:步骤S100,对芯片正面进行粗化;步骤S200,对划片后的芯片侧面进行粗化。
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