[发明专利]三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法无效

专利信息
申请号: 201010548721.8 申请日: 2010-11-16
公开(公告)号: CN102468376A 公开(公告)日: 2012-05-23
发明(设计)人: 李有群;杨彦霞;岳建水 申请(专利权)人: 上海大晨光电科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/22
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 201206 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法,该工艺的技术特征在于制作铝电极之前,先对芯片正面(发光面)进行粗化处理,使得光线从内部经由发光面能均匀折射出来;并在完成铝电极制作完成后,对该电极进行保护,再对发光二极管(LED)芯片侧面进行粗化处理,使得光线从内部经由侧面能均匀折射出来。从而在保持外延层结构不变的前提下明显提高了发光二极管(LED)芯片的出光效率。
搜索关键词: 三元 gaasp 电极 发光二极管 芯片 制备 方法
【主权项】:
三元GaAsP铝电极发光二极管芯片制备方法,其特征在于:该方法依次包括以下步骤:步骤S100,对芯片正面进行粗化;步骤S200,对划片后的芯片侧面进行粗化。
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