[发明专利]一种耐用物件的制备方法有效
| 申请号： | 201010548983.4 | 申请日： | 2010-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102041481A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | J·S·戈尔拉;H·A·G·斯特恩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;G02B1/10;C09D1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了具有氧化铝厚涂层的硫化锌和硒化锌光学物件。氧化铝涂层通过一微波辅助磁控溅射沉积在硫化锌和硒化锌上。除了氧化铝涂层外，该光学物件也可以包括各种聚合物涂层。提供了一种方法，所述方法包括：a)提供包括硫化锌或硒化锌的物件；和b)通过微波辅助磁控溅射以/分钟或更高的沉积速率在硫化锌或硒化锌上沉积厚度大于20μm的氧化铝层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐用 物件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，所述方法包括：a)提供包括硫化锌或硒化锌的物件；和b)通过微波辅助磁控溅射以![]()
/分钟或更高的沉积速率在硫化锌或硒化锌上沉积厚度大于20μm的氧化铝层。
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