[发明专利]用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器

摘要

本发明涉及用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器。市售高分辨率透射电子显微镜（HR-TEM）和扫描透射电子显微镜（HR-STEM）现在装配有用于校正所谓的物镜的轴向球面像差Cs的校正器。不可避免地，其它像差变成限制性的像差。对于也称为Rose校正器的六极型校正器或其变体而言，由校正器引入的也称为A5的六重轴向像散和也称为D6的第六阶三叶像差被已知变成限制性的像差。本发明表明，通过在六极之间的交叉点上添加弱六极（126），可以制成无A5或D6的类似于Rose的校正器或类似于Crewe的校正器，或者通过添加弱六极和十二极两者，可以制成无A5和D6两者的校正器。

主权项

一种用于校正粒子光学透镜（100、400）的轴向像差的校正器（104、408），将用带电粒子束（122、424）来照射所述校正器，该校正器包括：·第一多极（110、302、414），其用于产生第一六极场；·第二多极（112、304、412），其用于产生第二六极场；·光学系统，其用于将第一多极成像在第二多极上且用于在所述多极之间形成射束的交叉点；以及·所述光学系统的放大倍率是负的，其特征在于：·用于产生至少一个附加六极场的至少一个附加多极（126、310、500a、500b）位于所述第一多极和所述第二多极之间，所述至少一个附加多极在工作时没有被成像在所述第一和所述第二多极上，所述至少一个附加六极场适合于校正所述校正器的六重像散A5或所述校正器的第六阶三叶像差D6。