[发明专利]薄膜厚度的监控方法有效
| 申请号： | 201010551355.1 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102466467A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 何永根;史运泽 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种薄膜厚度的监控方法，包含：提供衬底、参考薄膜和参考热波信号；提供衬底，在所述衬底表面沉积薄膜；对所述薄膜进行掺杂；对掺杂后的薄膜进行热波测量，得到热波信号；对比所得到的热波信号与参考热波信号，如果所得到的热波信号与所述参考热波信号的差的绝对值小于所述参考热波信号的百分之一，则所得到的薄膜的厚度与参考薄膜厚度相同。本发明所提供的薄膜厚度的监控方法，通过测量并比较薄膜的热波信号监控不同批次的薄膜的厚度是否相同，从而判断机台是否发生偏移、以及所设定的工艺菜单是否满足需要。此外，本发明所提供的监控方法测量速度快，不破坏样品。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 监控 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜厚度的监控方法，其特征在于，包含：提供衬底、参考薄膜和参考热波信号；在所述衬底表面形成薄膜；对所述薄膜进行掺杂；对掺杂后的薄膜进行热波测量，得到热波信号；对比所得到的热波信号与参考热波信号，如果所得到的热波信号与所述参考热波信号的差的绝对值小于所述参考热波信号的百分之一，则所得到的薄膜的厚度与参考薄膜厚度相同。
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