[发明专利]一种太阳能平板集热器集热板及其镀膜方法无效
| 申请号： | 201010552295.5 | 申请日： | 2010-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102062485A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 安百盈;王德法;张振涛;安百军 | 申请（专利权）人： | 山东帅克新能源有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 276200 山东省临沂市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能平板集热器集热板的镀膜方法，溅射气体为氩气，反应气体为高纯氮气和氧气，首先在金属底板上磁控反应溅射沉积一层氮化铝钛抗红外反射膜，再沉积两层氮氧化铝钛复合吸收膜，最后沉积一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜，最终形成金属/TiAlN/TiAlON/TiAlON/TiAlO复合镀膜集热板。集热板上的膜层经四次溅射形成，集热板上的涂层具有低温发射率和热损低、保温性能好的特点，由于TiAlN是一种优质的硬度高、耐磨和抗氧化性能好、而且电阻率低的材料，性能优于TiN，因此使用该涂层的平板集热器的耐候性和中温使用性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 平板 集热器集热板 及其 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能平板集热器集热板，包括金属底板，其特征是在金属底板上依次设有一层氮化铝钛抗红外反射膜、两层氮氧化铝钛复合吸收膜和一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜；其镀膜方法是首先在金属底板上磁控反应溅射沉积一层氮化铝钛抗红外反射膜，再沉积两层氮氧化铝钛复合吸收膜，最后沉积一层氧化铝钛抗辐射复合保护膜。
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