[发明专利]制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉

摘要

本发明的目的在于提供一种制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及其设备，该工艺采用气相沉积炉，所述气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，原料气体为N２、NH３和BCl３的混合气体，炉温为1800~2000℃，保温14~26h，其特征在于：气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，每个同心圆进气口通入一种气体，有1~36只产品模具在炉内同时进行公转、自转，模具在炉内的公转速度为1~10圈/分钟。产品模具的旋转机构设置在炉体内或外的上端或下端；该工艺能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。

主权项

制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺，该工艺采用气相沉积炉，原料气体为N２、NH３和BCl３的混合气体，炉温为1800~2000℃，保温14~26h，其特征在于：所述气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，有1~36只产品模具在炉内同时进行公转、自转。