[发明专利]多孔硅气体检测装置有效
| 申请号： | 201010553784.2 | 申请日： | 2010-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102478501A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陈清伟;蔡林涛;李莎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N27/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多孔硅气体检测装置，包括多孔硅微腔晶体、测试腔、光纤光谱仪和电信号检测系统，测试腔与多孔硅微腔晶体密封配合连接，多孔硅微腔晶体表面露于测试腔的内部，光纤光谱仪用于检测和记录多孔硅微腔晶体的光学信号，电信号检测系统与多孔硅微腔晶体连接用于检测并分析多孔硅微腔晶体的电信号。采用测试腔与单晶硅直接组成测试腔体，无需复杂加工过程，易于实现，价格低廉，便于推广应用；同时，通过多孔硅微腔的表面功能化修饰，并将多孔硅光学信号和电学信号检测结合起来实现对有害气体的同步检测，再进行多参数的集成分析，快速且准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 气体 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种多孔硅气体检测装置，其特征在于，包括多孔硅微腔晶体、测试腔、光纤光谱仪和电信号检测系统，所述测试腔与所述多孔硅微腔晶体密封配合连接，所述多孔硅微腔晶体表面露于所述测试腔的内部空腔，所述光纤光谱仪用于检测并记录所述多孔硅微腔晶体的光学信号，所述电信号检测系统与所述多孔硅微腔晶体连接用于检测并记录所述多孔硅微腔晶体的电信号。
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