[发明专利]薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法无效
| 申请号： | 201010553829.6 | 申请日： | 2010-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102078854A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 贺成明;郑兴科;施翔尹;李为钧;廖炳杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05D7/00;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法。此薄膜干燥方法包括如下步骤：形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力。此薄膜干燥方法可应用于配向膜干燥方法及显示面板的装造方法中，本发明可确保干燥后的薄膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 干燥 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜的干燥方法，所述薄膜包括液态溶剂，其特征在于：所述方法包括如下步骤：形成所述薄膜于基板上；置放所述基板于真空腔室内；以及降低所述真空腔室内的压力，使得所述真空腔室内的所述薄膜的液态溶剂气化。
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