[发明专利]清洗机圆片保护装置无效
| 申请号： | 201010554253.5 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102059225A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈建斌;陈斌 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。本发明结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 机圆片 保护装置 | ||
【主权项】：
一种清洗机圆片保护装置，其特征是：包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通富士通微电子股份有限公司，未经南通富士通微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010554253.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
