[发明专利]网状透明电极的制作方法无效
申请号: | 201010554510.5 | 申请日: | 2010-11-23 |
公开(公告)号: | CN102468378A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 孙智江 | 申请(专利权)人: | 孙智江 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/38;H01L33/40;H01L33/42 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
地址: | 上海黄浦区中*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种网状透明电极的制作方法,其特点是包括以下步骤:首先,在LED外延生长的过程中,对GaN材料进行沉积。接着,当LED外延生长完成后,进行透明电极层的沉积。然后,将沉积后的透明电极层制作成网格状层。通过网格状的高介电常数透明电极层的存在,令其作为电流扩展层和应力缓冲层。由此,不仅仅提高了出光效率,还同时提高了器件的可靠性。更为重要的是,本发明能够消除日后于LED外延片内部所存在的较大的残余应力,避免LED保护层的脱落,提升了LED的整体质量。 | ||
搜索关键词: | 网状 透明 电极 制作方法 | ||
【主权项】:
网状透明电极的制作方法,其特征在于包括以下步骤:步骤①,在LED外延生长的过程中,对GaN材料进行沉积;步骤②,在LED外延生长完成后,进行透明电极层的沉积;步骤③,将沉积透明电极层制作成网格状层,所述的网格状层构成电流扩展层和应力缓冲层。
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