[发明专利]新型光导出结构的制造方法无效
申请号: | 201010554521.3 | 申请日: | 2010-11-23 |
公开(公告)号: | CN102468379A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 孙智江 | 申请(专利权)人: | 孙智江 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/58;H01L33/14 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
地址: | 上海市黄浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种新型光导出结构的制造方法,其特点是包括以下步骤:首先,外延片表面形成浅槽隔离。接着,在浅槽隔离上沉积高折射率介质材料。然后,将高折射率介质材料平坦化。最后,控制介高折射率介质材料的形貌,将高折射率介质材料做成凸形透镜式样。由于采用了凸形透镜式样,会有更多的光逃逸。由此,对于角度大于临界角的光,通过改变其在传播过程中的介质分布以及介质形状的优化,可以将光导出去。同时这层介质可以充当电流阻隔层,提高器件的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 新型 导出 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
新型光导出结构的制造方法,其特征在于包括以下步骤:步骤①,外延片表面形成浅槽隔离;步骤②,在浅槽隔离上沉积高折射率介质材料;步骤③,将高折射率介质材料平坦化;步骤④,控制介高折射率介质材料的形貌,将高折射率介质材料做成凸形透镜式样。
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