[发明专利]一种紫外组合零级波片的加工检测方法无效
申请号: | 201010555061.6 | 申请日: | 2010-11-22 |
公开(公告)号: | CN102183807A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 朱一村;郑熠;吴少凡 | 申请(专利权)人: | 福建福晶科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;G01M11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种紫外组合零级波片的加工检测方法,加工零级波片的传统方法是将波片光胶在光胶板上,进行抛光测量。但是连同光胶板一起测量时,光胶板存在应力双折射、抛光过程中产生的温度影响很难消除、从而造成延迟精度误差较大,因此采用传统的方法很难得到高精度的产品。本发明采用平面度为λ/20抛光的穿孔低膨胀系数光胶板,且穿孔对称,将一部分紫外组合零级波片光胶在光胶板的通孔上,光胶板的通孔直径比紫外组合零级波片外径小,加工测试时,光通过穿孔直接入射到紫外组合零级波片上进行测试,方便循环抛光与检测,能更好的控制延迟精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 组合 零级波片 加工 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外组合零级波片的加工检测方法,其特征在于紫外组合零级波片光胶在穿孔的光胶板,光胶板的双面平面度≤λ/20,测试时,光从穿孔通过,直接测试紫外组合零级波片,加工和测试循环进行,直到达到精度要求。
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