[发明专利]一种用于多线切割后硅片的预冲洗方法

摘要

本发明属于太阳能电池用硅片加工技术领域，具体涉及一种用于多线切割后硅片的预冲洗方法。所述方法按如下步骤进行：1)有机冲洗剂经加压后，通过喷嘴喷射到硅片表面进行冲洗；2)待硅片表面大部分砂浆被冲洗掉后，将硅片浸渍到成分为有机冲洗剂的浸渍液中进行超声清洗，清洗时间为10分钟；3)超声清洗后的硅片采用风刀吹去表面残留的浸渍液；4)用少量的水清洗硅片表面。根据相似相容原理，利用与切割液相似的水溶性有机高分子作为溶剂，对硅片表面附着的残留砂浆进行冲洗，使砂浆溶解于溶剂中，并通过对该溶剂的回收利用，达到了减少水资源浪费，砂浆循环利用的目的。

主权项

一种用于多线切割后硅片的预冲洗方法，其特征在于所述方法按如下步骤进行：1）、有机冲洗剂经加压后，通过喷嘴喷射到硅片表面进行冲洗；2）、待硅片表面大部分砂浆被冲洗掉后，将硅片浸渍到成分为有机冲洗剂的浸渍液中进行超声清洗，清洗时间为10分钟；3）、超声清洗后的硅片采用风刀吹去表面残留的浸渍液；4）、用少量的水清洗硅片表面。