[发明专利]表面检查装置和表面检查头装置

摘要

一种表面检查装置和表面检查头装置。表面检查装置从光电探测器的输出信号中提取与因轴线与圆筒部件的中心线之间的偏差而导致的受光强度的波动对应的频率分量，并且控制激光二极管根据该频率分量与预定基准值之差来改变检查光的强度。另外，表面检查装置的头装置中的保护窗部件的前表面或后表面的至少一个法线方向相对于朝向保护窗部件的检查光的入射光方向而倾斜。

主权项

一种表面检查装置，该表面检查装置包括：发射检查光的光源；插入到作为被检查物的圆筒体内部的检查头，所述检查头在绕所述圆筒体的轴旋转并沿轴向移动的同时，将从所述光源发射的检查光投射到所述圆筒体的内周面并接收由所述圆筒体的内周面反射的光；以及光电转换装置，其根据所述检查头接收的反射光的强度输出信号，并且所述表面检查装置基于所述光电转换装置输出的信号生成对应于所述内周面的二维图像，所述表面检查装置还包括：信号处理装置，其从所述光电转换装置输出的信号中提取与因所述轴与所述圆柱体的中心线之间的偏差所引起的所述反射光的强度波动相对应的频率分量；以及光源控制装置，其控制所述光源，使得从所述光源发射的检查光的强度根据预定基准值与由所述信号处理装置提取的所述频率分量之间的差而变化。