[发明专利]等离子刻蚀机硅片定压施压夹具

摘要

一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这样就能精确控制整叠硅片的压力，并可减少硅片四周受力的不均，使产品性能一致，刻蚀效果好。

主权项

一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体(1)、立柱螺杆(2)、复位弹簧(3)、压板(4)、收紧螺母(5)和数控扭力扳手(6)，两根立柱螺杆(2)的下端固定在夹具体(1)上，在两根立柱螺杆(2)的上段设有螺纹，复位弹簧(3)套装在立柱螺杆(2)的上段，压板(4)套装在两根立柱螺杆(2)上，并由收紧螺母(5)收紧，收紧螺母(5)由数控扭力扳手(6)定扭矩收紧。