[发明专利]一种扫描标准具无效
| 申请号： | 201010565420.6 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102087409A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴励;胡豪成;郑保忠 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 350001 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种扫描标准具，包括两腔片、一MEMS，其特征在于，两个腔片放置于MEMS同一侧，且MEMS与两腔片间的距离可以调节，两腔片间镀有相同或不同的膜，移动MEMS以改变两个腔片之间的空气隙大小，从而可以实现一种连续可调的透射式标准具，达到扩展反射式MEMS在扫描标准具上应用范围的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 标准 | ||
【主权项】：
一种扫描标准具（100），包括两腔片（101、102）、一MEMS（103），其特征在于，两腔片（101、102）放置于MEMS（103）同一侧。
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