[发明专利]柔性薄膜太阳能光电池及其大规模连续自动化生产方法

摘要

本发明提供一种柔性薄膜太阳能光电池及其大规模连续自动化生产方法。所述光电池膜层结构依次为：减反射层、透明上电极层、隔离层、窗口层、保护层、吸收层、反射层、金属背电极层、绝緣层、基材层、助焊层。减反射层材料为氟化镁，透明上电极层材料为氧化锌铝，隔离层材料为本征氧化锌，窗口层材料为硫化锌，保护层材枓为硫或锌，吸收层材料为CIGS或CIAS，反射层材料为铝，金属背电极层材料为铜钼钠合金，绝缘层材料为氧化钛，基材层材料为不锈钢、铜、铝箔或者聚酰亚胺薄膜。其生产方式是通过多种溅射法在连续自动化生产线上密闭的环境中逐层溅射成多膜层结构；本发明生产方法是一个高效率、高质量、低成本的大规连续自动化生产的方法。

主权项

一种柔性薄膜太阳能光电池，其特征在于：所述柔性薄膜太阳能光电池的膜层结构是从上到下依次为：减反射层、透明上电极层、隔离层、窗口层、保护层、吸收层、反射层、金属背电极层、绝緣层、基材层和助焊层，所述减反射层材料为氟化镁，所述透明上电极层材料为氧化锌铝，所述隔离层材料为本征氧化锌，所述窗口层材料为硫化锌，所述吸收层材料为铜铟镓硒或铜铟铝硫，所述反射层材料为铝，所述金属背电极层材料为铜钼钠合金，所述绝缘层材料为氧化钛，所述基材层材料为不锈钢箔、铜箔、铝箔、钛箔或者聚酰亚胺薄膜，所述助焊层材料为饧。