[发明专利]掩膜板吸附结构及掩膜板贴合的方法无效
| 申请号： | 201010568480.3 | 申请日： | 2010-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102011088A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;王学敬;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板吸附结构，包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板呈具有磁性的柔性结构，所述隔板呈具有导磁性的板状结构，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面，通过所述橡胶磁板对所述掩膜板的磁力作用使所述掩膜板紧贴于所述玻璃基片的下表面。该掩膜板吸附结构使掩膜板与玻璃基片均匀无缝贴合。另，本发明还提供该掩膜板吸附结构对掩膜板进行贴合的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 吸附 结构 贴合 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板吸附结构，其特征在于，包括橡胶磁板、隔板、装载基板玻璃基片以及掩膜板，所述橡胶磁板呈具有磁性的柔性结构，所述隔板呈具有导磁性的板状结构，所述橡胶磁板承载于所述隔板的上表面，所述装载基板的上表面开有容纳槽，所述橡胶磁板以及隔板装载于所述容纳槽内，所述隔板的下表面与所述容纳槽的底壁相抵触，所述玻璃基片的上表面紧贴所述装载基板的下表面，通过所述橡胶磁板对所述掩膜板的磁力作用使所述掩膜板紧贴于所述玻璃基片的下表面。
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