[发明专利]下电极装置及半导体设备无效
| 申请号： | 201010569759.3 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102480831A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏;张良 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种下电极装置，其包括下电极、匹配器、射频电源、第一连接器、第二连接器、射频电缆以及阻抗网络，其中，匹配器连接第二连接器和射频电源，射频电缆连接第一连接器和第二连接器，且阻抗网络连接在下电极与第一连接器之间，以使射频电源的输出功率依次经过匹配器、第二连接器、射频电缆、第一连接器和阻抗网络而输送至下电极。本发明还提供一种包括上述下电极装置的半导体设备。本发明提供的下电极装置和半导体设备可使下电极输出同一射频功率时所需要的电流显著降低，因而避免了因定制耐流范围更大的非通用连接器和射频电缆所耗费的成本和时间，同时使下电极装置及半导体设备的结构得到简化、可靠性得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种下电极装置，包括下电极、匹配器、射频电源、第一连接器、第二连接器和射频电缆，所述匹配器分别连接所述第二连接器和所述射频电源，且所述射频电缆分别连接所述第一连接器和所述第二连接器，其特征在于，还包括阻抗网络；所述阻抗网络连接在所述下电极与所述第一连接器之间，以使所述射频电源的输出功率依次经过所述匹配器、第二连接器、射频电缆、第一连接器、阻抗网络而输送至所述下电极。
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