[发明专利]氮化硅的回收方法有效
| 申请号： | 201010570860.0 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102485646A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 黄春来;薛抗美;朱战军;陈龙;田义良;胡亚兰 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 221004 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及从涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚回收氮化硅的方法，该方法包括：a)对置于惰性液体介质，优选水，更优选去离子水中的、涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚进行超声波处理，获得含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质，和b)对由步骤a)获得的含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质进行物理纯化步骤以分离氮化硅粉末。使用本发明的回收方法，可得到直接应用于生产的氮化硅粉末，坩埚壁上的氮化硅脱模剂回收率可以达到60-80％，极大地降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 回收 方法 | ||
【主权项】：
从涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚回收氮化硅的方法，该方法包括：a)对置于惰性液体介质，优选水，更优选去离子水中的、涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚进行超声波处理，获得含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质，和b)对由步骤a)获得的含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质进行物理纯化步骤以分离氮化硅粉末。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，未经江苏协鑫硅材料科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010570860.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
