[发明专利]一种可调光束能量衰减装置

摘要

本发明是一种光束能量可调衰减装置，放置于投影光刻机中光源和照明系统之间，第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置，使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中。第一平板玻璃与第二平板玻璃通过装夹机构和传动机构刚性连接在一起靠电机驱动做反向同步旋转运动，以改变光束在平板玻璃上的入射角度，从而改变输出光束的强度。本发明允许连续改变光束的强度而不改变入射光束的位置，改善了投影光刻机中投影束的均匀性，控制了基片上曝光剂量，提高了光刻质量。

主权项

一种光束能量可调衰减装置，其特征在于包括：所述的装置用于调节从光源进入光刻设备照明系统的光束能量，并放置于投影光刻机中照明光源和照明系统之间，第一平板玻璃(1)、第二平板玻璃(2)、第一装夹机构(3)、第二装夹机构(4)、传动机构(5)、电机(6)和角度探测装置(7)，第一平板玻璃(1)与第二平板玻璃(2)相对放置，第一平板玻璃(1)的一端面部置于第一装夹机构(3)的装夹部之间，第二平板玻璃(2)的一端面部置于装夹机构(4)的装夹部之间，第一装夹机构(3)的固接端和第二装夹机构(4)的固接端分别与传动机构(5)的两端刚性连接在一起，电机(6)的轴的两端分别连接传动机构(5)和角度探测装置(7)；第一平板玻璃(1)位于照明光源之后，照明光源发出的光束透射过第一平板玻璃(1)后，由于入射光束同第一平板玻璃有一定入射角度，光束的位置发生了偏移，光束的强度产生了衰减；电机(6)和角度探测装置(7)通过电动传杆驱动两个互相咬合的齿轮转动，带动装夹机构(4)控制相对放置的第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)反向同步旋转运动，用以改变照明光源的光束在第一平板玻璃(1)和第二平板玻璃(2)上的入射角度，从而改变光源发出的光束经过光束能量可调衰减装置后的输出强度，控制了照明系统的入射光能量，也就控制了基片上的曝光剂量。