[发明专利]触控感应器图案及信号导线的制造方法无效
| 申请号： | 201010575679.9 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102486692A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 杨恺悌;张志成;刘志勇;杨振宁 | 申请（专利权）人： | 洋华光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 中国台湾桃园县观音*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种触控感应器图案及信号导线的制造方法，包含提供一高透光率的衬底，表面上至少设有第一与第二导电性镀膜的透光衬底；以射高能光束在第一与第二导电性镀膜上制作多个绝缘性槽沟线，形成具有感测区及线路区的预定图案；对该衬底进行黄光工艺，以在线路区的导电性镀膜表面覆设一层光刻胶薄膜；以及对该衬底进行蚀刻工艺，以蚀刻移除在感测区内的第一导电性镀膜；因此形成在该衬底的感测区内具有第二导电性镀膜的预定图案，而在线路区内仍具有第一与第二导电性镀膜的预定图案；其中，高能光束为超短脉冲高斯光束。 | ||
| 搜索关键词： | 感应器 图案 信号 导线 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种触控感应器图案及信号导线的制造方法，包括以下步骤：提供一高透光率的衬底，在其一主表面上至少设有第一与第二导电性镀膜；对着衬底上的导电性镀膜表面投射高能光束，并同时使该高能光束与衬底之间依循一预设的位移轨迹作相对运动，以在第一与第二导电性镀膜上制作多个绝缘性槽沟线，形成具有感测区及线路区的预定图案；对该衬底进行黄光工艺，以在线路区的导电性镀膜表面覆设一层光刻胶薄膜；以及对该衬底进行蚀刻工艺，以蚀刻移除在感测区内的第一导电性镀膜；由上述步骤制作成在该衬底的感测区内具有第二导电性镀膜的预定图案，而在线路区内仍具有第一与第二导电性镀膜的预定图案。
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