[发明专利]一种多晶硅氢化炉

摘要

本发明提供了一种多晶硅氢化炉，包括炉体(35)、视镜(7)、底盘(36)、底座(15)、电极(16)、发热体(18)、总进水口(33)、容器法兰(12)、出水口(1)、密封垫(31)螺栓(32)、内筒隔热屏(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2)等部件，还包括单层隔热装置(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2)；通过本发明能使多晶硅得生产实现封闭化，进一步提高了多晶硅的产量，并达到了节约成本、节约能源、降低能耗和环保的目的。

主权项

一种多晶硅氢化炉，包括炉体(35)、视镜(7)、底盘(36)、底座(15)、电极(16)、发热体(18)、石墨结头(37)、进出管(34)、总进水口(33)、容器法兰(12)、出水口(1)、密封垫(31)和螺栓(32)，其中视镜(7)位于炉体(35)中部，炉体(35)和底盘(36)之间垫有密封垫(31)；底盘(36)上开有电极孔(43)和进出气孔(44)，炉体(35)通过容器法兰(12)与底座(15)夹持底盘(36)，用螺栓(32)固定连接；电极(16)穿过底盘(36)与石墨接头(37)固定连接，石墨结头(37)与发热体(18)固定连接；其特征在于还包括单层隔热装置(11)、进出气套管(5)、底部进出管(34)和安全阀接口(2)；其中底盘(36)和炉体(35)均为水冷式结构，炉体(35)上的内筒筒体(9)、内筒封头(4)、夹套筒体(10)、夹套封头(3)和容器法兰(12)之间形成有炉体冷却腔(8)，炉体冷却腔(8)内部设置螺旋型导流板(6)；底盘(36)由上底板(30)和下底板(27)通过连接体(29)组焊而成，上底板(30)、下底板(27)、连接体(29)之间为底盘冷却水腔(28)；在容器法兰(12)密封面上部设置有垫片冷却腔(14)，炉体冷却腔(8)的总进水口(33)设置在炉体(35)下部，内筒筒体(9)顶部中心连接有安全阀接口(2)，出水口(1)设置在与内筒封头(4)连通的安全阀接口(2)的夹层上；单层隔热装置(11)置于炉体内部，放置于底盘(36)之上，其底部与底盘(36)的电极孔(43)处对应开孔；发热体(18)均匀分布在单层隔热装置(11)的内腔内，进出气套管(5)穿过进出管(34)和单层隔热装置(11)底部深入到单层隔热装置(11)内部，进出气套管(5)、单层隔热装置(11)、进出管(34)和炉体(35)同轴心。