[发明专利]一种微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201010577639.8 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102121859A | 公开（公告）日： | 2011-07-13 |
| 发明（设计）人： | 姜澄宇;马炳和;孙海浪;苑伟政 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可对壁面剪应力进行流场非破坏性测量的微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法，属于传感器技术领域。包括感测部分1、弹性变形部分2、基底6以及位于弹性变形部分2上的压敏电阻、导线和焊盘；该装置通过基底6安装固定在待测结构7上，感测部分1的上表面与待测结构7的被测表面平齐。本发明提出的微型压阻式壁面剪应力测量装置可以达到较好的综合性能：(1)高灵敏度；可以大幅度降低弹性变形部分2的弯曲刚度，从而可以使装置具有较高测量灵敏度。(2)制作环节和工艺简单；只需要常规的微加工工艺，降低了制作成本，提高了工艺的可靠性和可控制性。(3)能够对流场进行非侵入式的壁面剪应力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 压阻式壁面 剪应力 测量 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微型压阻式壁面剪应力测量装置，包括壁面剪应力感测部分(1)、弹性变形部分(2)、压敏电阻(3)、导线(4)和焊盘(5)和基底(6)；整个装置通过所述基底(6)安装固定在待测结构(7)上，所述的感测部分(1)、弹性变形部分(2)和基底(6)由微加工工艺整体加工得到，其特征在于：壁面剪应力感测部分(1)的上表面与待测结构(7)的被测表面平齐，弹性变形部分(2)位于感测部分(1)和基底(6)之间，且弹性变形部分(2)与待测结构(7)之间具有间隙以保证弹性变形部分(2)的弯曲不受其他结构限制，压敏电阻(3)位于弹性变形部分(2)上，导线(4)和焊盘(5)将压敏电阻(3)与外部的测量电路连接起来。
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