[发明专利]一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机有效
| 申请号： | 201010577650.4 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102485977A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 曹孜;石宇;李惠;李晨 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒的清洗槽，箱体的上面板部位设有安全防护门，箱体的上部接抽风系统，还包括液体管路部分、水气枪部分，整台设备底部装有接液盘，在设备的底部装有活动脚轮。本设备通过带有升降功能的移动推车将装有硅锭的篮具放入酸洗槽(清洗槽)内，通过点接触按钮开关控制相应的泵、阀进行供酸、排酸，完成硅锭、硅块、硅棒的清洗腐蚀。本发明的优点是：将大直径单晶整根位错腐蚀，避免取样或者重复取样，并且可以准确的划分滑移和无滑移部分；储酸罐的结构可以使酸重复使用，减少了酸的使用量和排放量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直径 单晶位错 腐蚀 清洗 | ||
【主权项】：
一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒用的清洗槽，箱体的上部面板部位设有安全防护门，箱体的上部设接抽风系统的接口，还包括液体管路部分、水气枪部分，在设备的底部装有活动脚轮。
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