[发明专利]阵列基板及其制造方法和电子纸显示器

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法和电子纸显示器，方法包括：在第一衬底基板上沉积源漏金属薄膜和掺杂半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括掺杂半导体层、源电极、漏电极和数据线的图案；再沉积半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括半导体层的图案；再沉积栅绝缘层薄膜和栅金属薄膜，通过构图工艺形成包括栅绝缘层、栅电极和栅线的图案；再沉积栅极保护层薄膜，通过构图工艺形成包括栅极保护层和过孔的图案；最后沉积像素电极薄膜，通过构图工艺形成包括像素电极的图案；像素电极通过过孔与漏电极连接。本发明技术方案采用顶栅式结构以遮挡环境光对TFT沟道的照射，降低了漏电流对阵列基板显示性能的影响，提高了阵列基板的显示质量。

主权项

一种阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：在第一衬底基板上沉积源漏金属薄膜和掺杂半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括掺杂半导体层、源电极、漏电极和数据线的图案；在形成上述图案的第一衬底基板上沉积半导体层薄膜，通过构图工艺形成包括半导体层的图案；在形成上述图案的第一衬底基板上沉积栅绝缘层薄膜和栅金属薄膜，通过构图工艺形成包括栅电极和栅线的图案；在形成上述图案的第一衬底基板上沉积栅极保护层薄膜，通过构图工艺形成包括栅极保护层和过孔的图案；在形成上述图案的第一衬底基板上沉积像素电极薄膜，通过构图工艺形成包括像素电极的图案；所述像素电极通过所述过孔与所述漏电极连接。