[发明专利]一种变频微波炉用高压二极管及其生产工艺

摘要

本发明涉及一种变频微波炉用高压二极管及其生产工艺，其结构为多枚二极管方向相同叠放在一起，两端加两个P型硅片，单个二极管硅芯片结构为P+NN+型，采用磷硼扩散、合金、切割、组装、钝化、封装等工艺，提高了变频微波炉用高压二极管的耐压能力、抗浪涌能力，降低了开关损耗和功耗，提高了可靠性，使变频微波炉的火力均匀调控而不被毁坏，保证了微波炉的可靠性和使用寿命。

主权项

1、一种变频微波炉用高压二极管的生产工艺，其特征在于包括如下次序的步骤：1）扩散前处理：通过酸、碱、去离子水等多道工序，对硅片表面进行化学处理；2）磷硼扩散：清洗干净的原始硅片，在1200～1250℃扩散炉中恒温扩散；3）扩散后处理：用酸、去离子水超声清洗，使硅片分离并去除氧化膜；4）扩散检验：测试扩散后硅片的方块电阻、结深、反向恢复时间；5）铂扩散：扩入金属铂，减小反向恢复时间，提高频率；6）喷砂：用金刚砂对硅片表面进行均匀的粗面化；7）镀镍、镀金：将喷砂后的硅片去砂、清洗、在专用镀槽中进行镀镍、镀金，干燥；8）合金：将镀镍后的硅片，铅锡焊片，按顺序装入模具，放进200～250℃的烧结炉中进行烧结合金；9) 切断：用切断机将合金后的硅块切割成所需大小的管芯；10）中测：用正向测试仪测试管芯正向压降；11) 腐蚀：将测试后的管芯进行酸腐蚀；12）组装：将腐蚀后的管芯、引线装入模具，放进200～250℃的烧结炉中进行烧结；13）清洗：组装后的管芯装入清洗模具进行清洗；14）钝化保护：将组装后的管芯清洗干净后，涂保护胶并固化；15）封装：将固化后的管芯装入塑封模具封装；16）后固化：将塑封后的高压二极管放入烘箱进行后固化，后固化温度100～150℃ 。