[发明专利]钛靶铝背板焊接方法无效

专利信息
申请号: 201010581425.8 申请日: 2010-12-09
公开(公告)号: CN102059421A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;王学泽;李响 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00;B23K1/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省余姚市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明实施例公开了一种钛靶铝背板焊接方法。该焊接方法包括:提供靶材和背板,所述靶材为Ti靶材,所述背板为Al背板;在所述Ti靶材的焊接面上形成镍层;采用钎焊方法将具有镍层的Ti靶材和Al背板结合起来。本发明所提供的钛靶铝背板焊接方法,通过在所述Ti靶材的焊接面上形成镍层,而镍层与焊接材料能够较好地润湿、结合,故本发明所提供的方法能够提高Ti靶材和Al背板的结合能力,不易产生Ti靶材从Al背板上脱落的现象。
搜索关键词: 钛靶铝 背板 焊接 方法
【主权项】:
一种钛靶铝背板焊接方法,其特征在于,包括:提供靶材和背板,所述靶材为Ti靶材,所述背板为Al背板;在所述Ti靶材的焊接面上形成镍层;采用钎焊方法将具有镍层的Ti靶材和Al背板结合起来。
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